本文摘要：近日，从政府采购网近期资讯得知，清华大学耗资四出厂订购仪器项目助力科研创意水平提高。

近日，从政府采购网近期资讯得知，清华大学耗资四出厂订购仪器项目助力科研创意水平提高。本次共计订购还包括“清华大学高分辨拉曼光谱仪项目”、“清华大学金属光刻机”项目、“清华大学等离子强化化学气相沉积系统”项目、清华大学电感耦合等离子强化化学气相沉积系统”等四批项目。

公告表明，4出厂项目共计订购AFM原子力显微镜、压电XYZ闭环激光束扫描器、冷却用激光器耦合光路、金属光刻机、等离子强化化学气相沉积系统、电感耦合等离子强化化学气相沉积系统等科研仪器设备。结果显示，堀场(中国)、慧创(北京)仪器设备、安科瑞泰科技等知名企业分别以296万元、299.6万元、239.2万元、219万元顺利中标。

其中，慧创仪器设备成功中标金属光刻机、等离子强化化学气相沉积系统两项项目，沦为本次订购的仅次于赢家。据介绍，近期订购的系列仪器技术先进设备，工艺完备，应用于普遍。高分辨拉曼光谱仪可测量各种较低维纳米材料的拉曼信号，密切相关材料分子结构，通过纳曼光谱的频移构建温度测量。

根据国家根本性科研仪器研制项目的市场需求，利用拉曼光谱仪构建纳米材料的瞬态测温，研发热扩散亲率测试仪器。金属光刻机主要用作微纳加工工艺中8英寸及以下基片上的多种金属薄膜材料的光刻工艺。

等离子强化化学气相沉积系统在半导体衬底或有机衬底上沉积高质量的介质薄膜，还包括：氧化硅SiO2、氮化硅SiNx、氮氧硅SiOxNy薄膜等。

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